一种高频半导体制程在线检测设备

专利摘要:
本实用新型涉及半导体制程技术领域，具体涉及一种高频半导体制程在线检测设备，包括排气管道，所述排气管道的顶部安装有气体流速检测表，所述气体流速检测表的底部固定连接有检测管件，所述检测管件的底端贯穿排气管道且连通有进气管，所述进气管的一端套接固定有过滤网，所述进气管靠近过滤网一端的外侧壁呈环形等角度固定连接有多个L形连接杆，多个所述L形连接杆背离进气管的端部固定连接有方形框架。本实用新型中，通过传动杆一带动滑块一与滑块三移动，传动杆二带动滑块二与滑块四移动，使得滑板一、滑板二及滑板三内侧的除尘毛刷清理过滤网上积累的灰尘，避免过滤网网孔堵塞，从而提高了气体流速检测表检测的准确性。
公开号:CN214335003U
申请号:CN202120176244.0U
申请日:2021-01-22
公开日:2021-10-01
发明作者:邱远志
申请人:Shenzhen Yiniu Automation Technology Co ltd；
IPC主号:G01P5-00

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及半导体制程技术领域，具体涉及一种高频半导体制程在线检测设备。
[n0002] 半导体可作为集成电路所用的载体，半导体的制造过程包含了许多种处理方式，包括感光剂涂布、曝光、显影、腐蚀、及渗透等，以制成具有多层线路的组件，并经由检测、封装而制成实际可用的集成电路成品，目前半导体制程中产生的废气需要使用管道排出，目前管道中一般安装有气体流速检测表来检测管道内气体的流速，但是管道内排出的废气往往含有较多的杂质，需要对其过滤后才可进行气体流速检测，杂质会堆积在过滤网上，造成网孔的堵塞，从而影响检测的准确性。
[n0003] 为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种高频半导体制程在线检测设备，通过电动伸缩杆伸长和缩短使传动杆一与传动杆二相互转动连接的端部发生转动，传动杆一带动滑块一与滑块三移动，传动杆二带动滑块二与滑块四移动，使得滑板一、滑板二及滑板三在方形框架的内部移动，实现滑板一、滑板二及滑板三内侧的除尘毛刷清理过滤网上积累的灰尘，避免过滤网网孔堵塞，从而提高了气体流速检测表检测的准确性，通过在滑板一上开设有进气孔一，在滑板二上开设有进气孔二，便于气体快通过挡板进入进气管，避免滑板一与滑板二阻碍气体流动影响气体流速检测表检测结果。
[n0004] 本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
[n0005] 一种高频半导体制程在线检测设备，包括排气管道，所述排气管道的顶部安装有气体流速检测表，所述气体流速检测表的底部固定连接有检测管件，所述检测管件的底端贯穿排气管道且连通有进气管，所述进气管的一端套接固定有过滤网，所述进气管靠近过滤网一端的外侧壁呈环形等角度固定连接有多个L 形连接杆，多个所述L形连接杆背离进气管的端部固定连接有方形框架，所述方形框架的中部滑动连接有两个滑板一，所述方形框架中部的两端均滑动连接有滑板二，所述方形框架的两端均滑动连接有滑板三；
[n0006] 所述滑板一的中部滑动连接有滑块一和滑块二，所述滑板二的中部滑动连接有滑块三和滑块四，所述滑块一与滑块三的外侧设置有传动杆一，所述传动杆一通过转动轴一与滑块一与滑块三二者的外侧转动连接，两个所述传动杆一相互贴靠的端部转动插接有连接轴一，所述滑块二与滑块四的外侧设置有传动杆二，所述传动杆二通过转动轴二与滑块二与滑块四二者的外侧转动连接，两个所述传动杆二相互贴靠的端部转动插接有连接轴二，所述传动杆一与对应位置传动杆二的端部通过转动轴三与滑板三的中部转动连接，所述连接轴一与连接轴二之间设置有电动伸缩杆，所述滑板一、滑板二及滑板三的内侧均固定连接有除尘毛刷；
[n0007] 通过电动伸缩杆伸长和缩短使传动杆一与传动杆二相互转动连接的端部发生转动，传动杆一带动滑块一与滑块三移动，传动杆二带动滑块二与滑块四移动，使得滑板一、滑板二及滑板三在方形框架的内部移动，实现滑板一、滑板二及滑板三内侧的除尘毛刷清理过滤网上积累的灰尘，避免过滤网网孔堵塞，从而提高了气体流速检测表检测的准确性。
[n0008] 进一步在于：所述电动伸缩杆的两端均固定连接有转动套环，所述连接轴一与连接轴二的外侧壁与对应位置转动套环的内侧壁转动连接，便于电动伸缩杆通过推动连接轴一与连接轴二使传动杆一与传动杆二转动。
[n0009] 进一步在于：所述滑板一的两端均开设有进气孔一，所述滑板二的两端均开设有进气孔二，所述滑板三的两端均开设有进气孔三，通过在滑板一上开设有进气孔一，在滑板二上开设有进气孔二，在滑板三的两端均开设有进气孔三便于气体快通过滑板一、滑板二及滑板三进入进气管，避免滑板一、滑板二及滑板三阻碍气体流动影响气体流速检测表检测结果。
[n0010] 进一步在于：所述滑板一、滑板二及滑板三的顶面与底面均转动连接有滚轮，所述方形框架顶部的内侧壁与底部的内侧壁均开设有限位槽，便于滚轮的外侧壁与限位槽的内侧壁滚动贴靠。
[n0011] 进一步在于：所述滚轮的外侧壁与对应位置限位槽的内侧壁滚动连接，便于滑板一、滑板二及滑板三在方形框架的内部滑动。
[n0012] 进一步在于：所述滑板一的中部开设有矩形槽一，所述矩形槽一的内侧壁与滑块一与滑块二二者的外侧壁滑动卡接，所述滑板二的中部开设有矩形槽二，所述矩形槽二的内侧壁与滑块三与滑块四二者的外侧壁滑动卡接，便于滑块一与滑块二带动滑板一移动，滑块三与滑块四带动滑板二移动。
[n0013] 本实用新型的有益效果：
[n0014] 1、通过电动伸缩杆伸长和缩短使传动杆一与传动杆二相互转动连接的端部发生转动，传动杆一带动滑块一与滑块三移动，传动杆二带动滑块二与滑块四移动，使得滑板一、滑板二及滑板三在方形框架的内部移动，实现滑板一、滑板二及滑板三内侧的除尘毛刷清理过滤网上积累的灰尘，避免过滤网网孔堵塞，从而提高了气体流速检测表检测的准确性。
[n0015] 2、通过在滑板一上开设有进气孔一，在滑板二上开设有进气孔二，便于气体快通过挡板进入进气管，避免滑板一与滑板二阻碍气体流动影响气体流速检测表检测结果。
[n0016] 下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
[n0017] 图1是本实用新型整体结构示意图；
[n0018] 图2是本实用新型中排气管道内部结构示意图；
[n0019] 图3是本实用新型中进气管结构示意图；
[n0020] 图4是本实用新型中方形框架内部结构示意图；
[n0021] 图5是本实用新型图4中A处局部放大结构示意图；
[n0022] 图6是本实用新型中滑板一、滑板二及滑板三内侧结构示意图；
[n0023] 图7是本实用新型中滑板一、滑板二及滑板三结构示意图。
[n0024] 图中：100、排气管道；200、气体流速检测表；210、检测管件；300、进气管；310、过滤网；320、L形连接杆；400、方形框架；410、滑板一；411、滑块一；412、滑块二；413、进气孔一；420、滑板二；421、滑块三；422、滑块四；423、进气孔二；430、滑板三；431、进气孔三；500、传动杆一；510、连接轴一；600、传动杆二；610、连接轴二；700、电动伸缩杆；710、转动套环；800、除尘毛刷。
[n0025] 下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[n0026] 请参阅图1-7所示，一种高频半导体制程在线检测设备，包括排气管道100，排气管道100的顶部安装有气体流速检测表200，气体流速检测表200的底部固定连接有检测管件210，检测管件210的底端贯穿排气管道100且连通有进气管 300，进气管300的一端套接固定有过滤网310，进气管300靠近过滤网310一端的外侧壁呈环形等角度固定连接有多个L形连接杆320，多个L形连接杆320 背离进气管300的端部固定连接有方形框架400，方形框架400的中部滑动连接有两个滑板一410，方形框架400中部的两端均滑动连接有滑板二420，方形框架400的两端均滑动连接有滑板三430；
[n0027] 滑板一410的中部滑动连接有滑块一411和滑块二412，滑板二420的中部滑动连接有滑块三421和滑块四422，滑块一411与滑块三421的外侧设置有传动杆一500，传动杆一500通过转动轴一与滑块一411与滑块三421二者的外侧转动连接，两个传动杆一500相互贴靠的端部转动插接有连接轴一510，滑块二 412与滑块四422的外侧设置有传动杆二600，传动杆二600通过转动轴二与滑块二412与滑块四422二者的外侧转动连接，两个传动杆二600相互贴靠的端部转动插接有连接轴二610，传动杆一500与对应位置传动杆二600的端部通过转动轴三与滑板三430的中部转动连接，连接轴一510与连接轴二610之间设置有电动伸缩杆700，滑板一410、滑板二420及滑板三430的内侧均固定连接有除尘毛刷800；
[n0028] 通过电动伸缩杆700伸长和缩短使传动杆一500与传动杆二600相互转动连接的端部发生转动，传动杆一500带动滑块一411与滑块三421移动，传动杆二600带动滑块二412与滑块四422移动，使得滑板一410、滑板二420及滑板三430在方形框架400的内部移动，实现滑板一410、滑板二420及滑板三 430内侧的除尘毛刷800清理过滤网310上积累的灰尘，避免过滤网310网孔堵塞，从而提高了气体流速检测表200检测的准确性。
[n0029] 电动伸缩杆700的两端均固定连接有转动套环710，连接轴一510与连接轴二610的外侧壁与对应位置转动套环710的内侧壁转动连接，便于电动伸缩杆 700通过推动连接轴一510与连接轴二610使传动杆一500与传动杆二600转动；滑板一410的两端均开设有进气孔一413，滑板二420的两端均开设有进气孔二 423，滑板三430的两端均开设有进气孔三431，通过在滑板一410上开设有进气孔一413，在滑板二420上开设有进气孔二423，滑板三430的两端均开设有进气孔三431，便于气体快通过滑板一410、滑板二420及滑板三430进入进气管300，避免滑板一410、滑板二420及滑板三430阻碍气体流动影响气体流速检测表200检测结果。
[n0030] 滑板一410、滑板二420及滑板三430的顶面与底面均转动连接有滚轮，方形框架400顶部的内侧壁与底部的内侧壁均开设有限位槽，便于滚轮的外侧壁与限位槽的内侧壁滚动贴靠；滚轮的外侧壁与对应位置限位槽的内侧壁滚动连接，便于滑板一410、滑板二420及滑板三430在方形框架400的内部滑动；滑板一410的中部开设有矩形槽一，矩形槽一的内侧壁与滑块一411与滑块二412 二者的外侧壁滑动卡接，滑板二420的中部开设有矩形槽二，矩形槽二的内侧壁与滑块三421与滑块四422二者的外侧壁滑动卡接，便于滑块一411与滑块二412带动滑板一410移动，滑块三421与滑块四422带动滑板二420移动。
[n0031] 工作原理：使用时，开启电动伸缩杆700，当电动伸缩杆700伸长时，传动杆一500与传动杆二600之间的夹角变大，传动杆一500带动滑块一411与滑块三421移动，滑块一411在滑板一410的矩形槽一里向上移动，滑块三421 在滑板二420的矩形槽二里向上移动，传动杆二600带动滑块二412与滑块四 422移动，滑块二412在滑板一410的矩形槽一里向下移动，滑块四422在滑板二420的矩形槽二里向下移动，使得滑板一410、滑板二420及滑板三430均向方形框架400的中部移动，同理当电动伸缩杆700缩短时滑板一410、滑板二 420及滑板三430均向方形框架400的两端移动，从而实现滑板一410、滑板二 420及滑板三430内侧的除尘毛刷800清理过滤网310上积累的灰尘，避免过滤网310网孔堵塞，从而提高了气体流速检测表200检测的准确性。
[n0032] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[n0033] 以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

权利要求:
Claims (6)
[0001] 1.一种高频半导体制程在线检测设备，包括排气管道(100)，其特征在于，所述排气管道(100)的顶部安装有气体流速检测表(200)，所述气体流速检测表(200)的底部固定连接有检测管件(210)，所述检测管件(210)的底端贯穿排气管道(100)且连通有进气管(300)，所述进气管(300)的一端套接固定有过滤网(310)，所述进气管(300)靠近过滤网(310)一端的外侧壁呈环形等角度固定连接有多个L形连接杆(320)，多个所述L形连接杆(320)背离进气管(300)的端部固定连接有方形框架(400)，所述方形框架(400)的中部滑动连接有两个滑板一(410)，所述方形框架(400)中部的两端均滑动连接有滑板二(420)，所述方形框架(400)的两端均滑动连接有滑板三(430)；
所述滑板一(410)的中部滑动连接有滑块一(411)和滑块二(412)，所述滑板二(420)的中部滑动连接有滑块三(421)和滑块四(422)，所述滑块一(411)与滑块三(421)的外侧设置有传动杆一(500)，所述传动杆一(500)通过转动轴一与滑块一(411)与滑块三(421)二者的外侧转动连接，两个所述传动杆一(500)相互贴靠的端部转动插接有连接轴一(510)，所述滑块二(412)与滑块四(422)的外侧设置有传动杆二(600)，所述传动杆二(600)通过转动轴二与滑块二(412)与滑块四(422)二者的外侧转动连接，两个所述传动杆二(600)相互贴靠的端部转动插接有连接轴二(610)，所述传动杆一(500)与对应位置传动杆二(600)的端部通过转动轴三与滑板三(430)的中部转动连接，所述连接轴一(510)与连接轴二(610)之间设置有电动伸缩杆(700)，所述滑板一(410)、滑板二(420)及滑板三(430)的内侧均固定连接有除尘毛刷(800)。
[0002] 2.根据权利要求1所述的一种高频半导体制程在线检测设备,其特征在于，所述电动伸缩杆(700)的两端均固定连接有转动套环(710)，所述连接轴一(510)与连接轴二(610)的外侧壁与对应位置转动套环(710)的内侧壁转动连接。
[0003] 3.根据权利要求1所述的一种高频半导体制程在线检测设备,其特征在于，所述滑板一(410)的两端均开设有进气孔一(413)，所述滑板二(420)的两端均开设有进气孔二(423)，所述滑板三(430)的两端均开设有进气孔三(431)。
[0004] 4.根据权利要求3所述的一种高频半导体制程在线检测设备,其特征在于，所述滑板一(410)、滑板二(420)及滑板三(430)的顶面与底面均转动连接有滚轮，所述方形框架(400)顶部的内侧壁与底部的内侧壁均开设有限位槽。
[0005] 5.根据权利要求4所述的一种高频半导体制程在线检测设备,其特征在于，所述滚轮的外侧壁与对应位置限位槽的内侧壁滚动连接。
[0006] 6.根据权利要求4所述的一种高频半导体制程在线检测设备,其特征在于，所述滑板一(410)的中部开设有矩形槽一，所述矩形槽一的内侧壁与滑块一(411)与滑块二(412)二者的外侧壁滑动卡接，所述滑板二(420)的中部开设有矩形槽二，所述矩形槽二的内侧壁与滑块三(421)与滑块四(422)二者的外侧壁滑动卡接。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120176244.0U|CN214335003U|2021-01-22|2021-01-22|一种高频半导体制程在线检测设备|CN202120176244.0U| CN214335003U|2021-01-22|2021-01-22|一种高频半导体制程在线检测设备|